事業内容

真空装置の設計から製作まで一貫生産

真空装置の設計から製作まで一貫生産

得意とする主な産業分野

得意とする主な産業分野

主納入先

研究機関

  • ・AIST｜産業技術総合研究所
    ・JAXA ｜宇宙航空研究開発機構
    ・RIKEN ｜理化学研究所
    ・JASRI ｜高輝度光科学研究センター
    ・JAEA ｜日本原子力研究開発機構
    ・QST ｜量子科学技術研究開発機構
    ・KEK ｜高エネルギー加速器研究機構
    ・大阪大学核物理研究センター
    ・九州シンクロトロン光研究センター
    ・タイ国立シンクロトロン光源加速器研究センター
  • ・株式会社IHI
    ・キヤノン株式会社
    ・株式会社東芝
    ・トヨタ自動車株式会社
    ・三菱電機株式会社
    ・三菱重工業株式会社
    ・株式会社日立製作所
    　他多数

真空にまつわる2つのコア技術　お客様の要望に合わせた最適な装置設計

構造設計・システム設計技術

真空装置の専門的ノウハウを保有する経験豊富な技術スタッフが、お客様の多様なニーズや課題に対し、提案型でかつ高信頼の設計を行います。 最新鋭の3D-CADと自社開発の真空装置用解析モデルを用いて、効率的かつ高信頼のシステムを実現します。

3D CADによる設計

3D CADによる設計

強度解析による評価

強度解析による評価

熱解析による評価

熱解析による評価

電気設計・ソフトウェア設計

真空排気から成膜、基板搬送等、装置を自動で動かすことができます。様々なレシピ、レイヤーにも対応可能です。下記は自動シーケンスソフトの一例です

電気設計・ソフトウェア設計

真空を実現する確かな製造技術

大型機械加工設備

大型機械加工設備

特殊接合技術

特殊接合技術

熱処理　大型真空炉

熱処理　大型真空炉

組み立て工程
大型クリーンルーム

組み立て工程大型クリーンルーム

据付技術
精密アライメント

据付技術精密アライメント

検査・測定
ベーキングガス及び放出評価

検査・測定ベーキングガス及び放出評価

製作事例

半導体/FPD製造装置

半導体/FPD製造装置

加速器設備事例

加速器設備事例

核融合制作実績

核融合制作実績

加速器製作実績

加速器製作実績

パーマロイ製真空ダクト

パーマロイ製真空ダクト

レーザー装置用
真空チェンバー

レーザー装置用真空チェンバー