事業内容

事業内容

真空装置
真空技術紹介
用途事例
装置事例
加速器関連
大型真空チャンバー

装置目的・用途・コンセプト等、装置設計段階からの相談・提案が可能

用途相談、装置設計⇒社内製造⇒評価試験、信頼性試験

真空装置・真空関連機器の製造

その1 自社設計

構造設計・システム設計

真空装置の専門的ノウハウを保有する経験豊富な技術スタッフが、お客さんの多様なニーズや課題に対し、提案型でかつ高信頼の設計を行います。 最新鋭の3D-CADと自社開発の真空装置用解析モデルを用いて、効率的かつ高信頼のシステムを実現します。

  • 3D CADによる設計
    3D CADによる設計
  • 強度解析による評価
    強度解析による評価
  • 熱解析による評価
    熱解析による評価

電気設計・ソフトウェア設計

右の画像は、自動シーケンスソフトの一例です。真空排気から成膜、基板搬送等、装置を自動で動かすことができます。様々なレシピー、レイヤーにも対応可能です。

その2 社内生産

MC・NC加工・溶接・表面処理

超大型機械加工設備

真空装置メーカーで、国内最大級の大型マシニング群、最新鋭の超大型五面加工機の導入により、X:8250、Y:4500、Z:2500ものワーク範囲を実現。 高精度、高効率の加工生産体制を確立しました。

溶接加工

弊社は高い溶接技術によりステンレスはもとより、アルミ、チタン、銅などの難材の溶接にお客様から定評があります。大型チャンバ、真空部品など薄板、厚板、複雑な形状まで様々な部品製作で対応可能です。

組立設備(超大型クリーンルーム)

第8~10世代に対応する超大型装置用クリーンルームほか、中~大型クリーンルームを3つ完備、お客様の多様なニーズに合わせて生産対応が可能です。

その3 高度な評価試験・信頼性試験

到達圧力・残留ガス・放出ガス速度の計測

真空装置、真空機器を組立後ご要求の仕様を満たしているか検査、評価致します。右記は真空性能評価の一例です。真空到達圧力、圧力降下の変化、質量ガス分析、放出ガス速度などを計測します。超高真空等、よりクリーンな環境が必要な場合にはチャンバや内部機構をベーキングをすることもあります。

搬送システム評価試験

真空性能に合わせてチャンバ内部の機構等が仕様通りに動作するか最終的に検査、評価致します。右記は重量物搬送系の動作確認を行っております。搬送精度測定、動作速度計測搬送負荷・トルク測定、耐久性などを検査評価します。また、使用上の安全性にも留意して最終的に確認を致します。