カラースパッタリング装置

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大型真空チャンバー

産業用イオンビームソースの特徴


ㆍイオンビームの長さ:400 ~ 3,000 mm以上
ㆍ認可電圧:700 ~ 3,500 V


【用途】
 産業用薄膜コーティング製造工程
 表面 改質 及び エッチング
 タッチスクリーンパネル分野
 ディスプレイ分野
 太陽電池分野


※上記メーカーサイトへのリンク


①不純物が 生成されない イオンビームソース

②アークとパーティクル発生が比較的少ないイオンビームソース

③工程の効率と安全性が高いイオンビームソース

イオンビーム技術


①多数のイオンビーム形成の実装(Optional) ⇒ 高い空間効用提供

②外部プラズマイオンビーム駆動方式 ⇒高プロセスの効率性提供

③最適な方向性のイオンビーム提供

イオンビーム

イオンビーム


イオン(Ar+)ビーム加速エネルギーに伴う現象

イオンビーム

イオンビーム