真空熱処理受託サービス

コミヤマエレクトロンの真空熱処理受託サービスの特徴

クリーン・高温環境下にて様々な用途・目的に合わせた真空熱処理サービスを提供します。

　　　

①オイルフリー真空熱処理炉にてあらゆる金型や部品、治具を最適な熱処理条件で処理する

　　　

②炉内をドライ真空系で構築することで、クリーンな環境下で熱処理が可能

　　　

③高真空で処理を実現することで、製品表面への二次汚染や酸化を防止

　　　

④大物製品の熱処理が可能


⑤ベーキング効果が確認できる四重極型質量分析計（QMS）を装備

熱処理設備仕様

・炉内寸：φ1000xD1348mm
・炉床サイズ：最大　900mm
・最高加熱温度：1100℃
・到達圧力：10-5Pa台

利用目的と用途

目的 用途
・脱ガス処理 真空中への各種アウトガス放出低減
水素ガスの放出
二次電子放出低減　のため		 ガラス基板、半導体製造装置部品
真空中に入れる機械加工部品・脱脂
電池材料の乾燥
航空・宇宙関連業界
・磁気焼鈍 磁気特性向上
地磁気の除去のため		 軟磁性材料（電磁鋼板、ケイ素鋼板、純鉄、パーマロイ等）
　　　　　　シールドケース、モータ・センサ等のハウジング
　　　　　　電子顕微鏡のヨーク・ハウジング・ステージ等の構成部品
・焼きなまし 加工性向上、高精度化、高機能化のため
（変色のない処理が可能）		 金属材料、工具合金、金型、治具、ばね

真空熱処理の活用される分野

・精密機械分野
・自動車分野
・航空・宇宙分野
・エネルギー分野
・液晶分野
・半導体製造分野


・電気・電子分野
・医療機器分野
・加速器・核融合分野
・研究開発分野
・ナノテクノロジー分野

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