真空装置事例

真空技術を利用した装置例

弊社の経験豊富な真空技術と生産技術を融合しお客様の多種多様なニーズにお応えした真空装置をご提案致します。
R&Dから生産装置まで幅広くご対応致します。

◆真空薄膜形成・加工装置

液晶・有機ＥＬ・太陽電池・半導体用
・蒸着装置
・スパッタリング装置
・ドライエッチング装置
・アッシング装置
・ＣＶＤ装置　等

◆産業用真空装置

・真空排気装置
・真空加熱装置
・真空アニール装置
・真空蒸留装置
・真空乾燥装置
・真空脱気装置
・真空梱装装置
・真空冷却装置　等

◆分析・試験用真空装置　等

◆真空排気装置

超高真空排気装置

真空技術を利用した装置例

ターンバック式アッシング装置（基板サイズ第５世代）

プラズマＣＶＤ装置

重量物搬送システム

FPD・有機ＥＬ・太陽電池等の経済性と信頼性向上のために従来にないプラットフォーム型の真空搬送システムです。
真空搬送に特化することで、従来の基板搬送ロボットにおける機能のムダとりを徹底して行い、かつ、G6基板（18０0×1500mｍ）を20枚（200kg）まで一括搬送ができる画期的なシステムです。
・可搬重量200kgに対応
・Ｘ軸　最大ST2600mm　＋　θ330度回転
・高真空･クリーン搬送対応
・耐高温環境　(200℃）仕様

真空チャンバと合わせて豊富なバリエーションに対応致します。アーム長・アームタイプの自在な組み合わせにより、カセットやガラス基板など様々な搬送に対応可能です。

真空機器

ゲートバルブユニット
既製品ではラインアップに無い『大型開口、特殊寸法開口等』様々な要望にお応え致します。

高温対応ゲートバルブユニット

ガスコントロールユニット
シリンダキャビネット
（ＣＶＤ、ドライエッチング装置　他）

ヘリウムリークテスト装置

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