◆特徴
● 各メーカーの真空ポンプに取り付け可能
● 各種小口径から大口径フランジ形式に対応
(ICF・ISO・JIS・NW等)
● 低周波から高周波振動を減衰
(振動伝達率 1/30に減衰)
● 取付方向フリー
(鉛直方法以外は取付治具が必要です)
◆用途
● 放射光(ビームライン)装置間の振動遮断
● 真空ポンプ(油回転ポンプ・ターボ分子ポンプ・クライオポンプ等)の振動遮断
● 真空チャンバ間の振動遮断
ISO100防振ダンパ
KE-VD-ISO100
◆性能比較
1 gal(ガル) =1cm/s² =0.01 m/s²