大型真空チャンバー,チタン製真空チャンバーなどの製造も可能

真空チャンバー製作のプロ集団

真空チャンバは内部を真空にする、真空装置にとって要のものです。弊社では、お客様の目的に合わせ、大きさ、材質、形状等、最適なものをご提案致します。
自社保有の大型マシニングセンター、溶接技術、豊富な経験を生かし設計から機械加工、溶接、表面処理、ベーキング処理、真空性能評価まで一貫して対応することが可能です。

超大型真空チャンバーの製作も可能

核融合、スペースチャンバー等、陸上輸送が出来ない超大型の真空チャンバーの製作対応が可能です。
弊社の経験豊富な作業員が、据付先にて溶接、シール面加工を行い最終的な真空性能評価まで対応致します。

超大型マシニングセンター RB-7VM
X:8250
Y:4500
Z:2500

>> 設備詳細はこちら

真空チャンバー製作の得意技術

チタン製真空チャンバ

弊社では切削液を使用しないドライ加工でのチタン加工技術と低酸化溶接技術にてチタン製真空チャンバの製作を行っております。
超高真空に対応（2.0E-8Paに到達）し耐食性にも優れます。
真空チャンバに付帯する、ICFフランジ等、各種真空部品の製作も合わせて対応可能です。

低酸化溶接技術

チタン材での超高真空チャンバの製作には、酸化を極めて抑えた溶接技術を応用します。
右はガスシールドボックス内での溶接状況です。
大型の真空チャンバについては、弊社独自のガスシールド治具を用いて溶接を行います。

表面処理技術

真空チャンバの超高真空、高真空、中真空対応、チャンバの清浄化、装置用途など、目的に合わせた表面処理をご提案、対応可能です。
バフ研磨、電解研磨、化学研磨、ＧＢＢ処理等を施し、チャンバ壁面の平坦化を図り放出ガスを抑えることができる表面処理が可能です。より高真空を得るためにチャンバを加熱し、事前に脱ガスをさせるベーキング処理も対応可能です。

大型真空チャンバーの設計

大型真空チャンバー

真空排気された真空チャンバーは、大気圧が真空チャンバーに加わり、1平米当たり、10ｔの力となります。このため、真空チャンバーは、大気圧で押しつぶされないように、十分な強度が必要となります。大型になればなるほど、広い面積となり、大きな力が掛かる為、強度を維持できる板厚、補強リブなどの構造設計が必要となります。

大型真空チャンバーの設計例

幅2.1ｍ×長さ5.3ｍ×高さ1.4ｍの真空チャンバーの設計例をご紹介します。
強度解析により、補強リブの最適設計を行い、真空チャンバーの軽量化を図り、側面の角フランジをアルミ合金製として、補強リブを最小とした構造となっています。

最大発生応力は175.7 N/mm2	Y方向変位量：0.97㎜
発生応力はJIS B 8265により、応力評価を行います。許容応力以下となっており、真空排気時の変位は1mm以下としています。

レーザー装置用真空チャンバー外観（ステンレス鋼＋アルミ合金）（2130W×5300D×1390H）